Ellipsometer

Lo refleja a la superficie de la muestra y la luz pedida prestado ocurre cuando expongo una muestra para encender. Puedo dividir la luz pedida prestado en dos ingredientes de luz polarizada por el p y la luz polarizada por el s y esta polarización declara que pide tal un método la medida con ellipsometry porque generalmente está en un ovalado (petit de Eli Cal). Evalúo las ópticas arreglaron número o el espesor cinematográfico de la muestra cambiando la longitud de onda de la luz para exponer una muestra a y midiendo la diferencia de la fase. (delta) y proporción de amplitud. (psi) de la luz pedida prestado.

No sólo la evaluación membranosa que era posible para pero también la evaluación del proceso membranosa (la medida En-situ) que lo fabrica es posible después de que la medida es posible en nondestructiveness como él es las medidas ópticas como tiempo de la medida es corto y lo termina. Así como el número fijo óptico y espesor de la película, puedo realizar el reflectance, transmissivity, una evaluación de la estructura de la banda, las evaluaciones como la densidad del portador escogiendo la longitud de onda de la luz para acertar el.

Cuando mido la luz pedida prestado, la llanura de la superficie se busca. Se considera que el número de parte de las longitudes de onda de la luz para acertar el es un límite. Además, la medida se pone difícil porque la película de metal que la luz absorbente viene a tener poco pedido prestado la luz. Depende de un tipo de metal, pero un espesor cinematográfico de número 100nm se vuelve el límite de la medida realmente. Cada espesor cinematográfico cuando las películas plurales laminado está disponible para la medida, pero las asunciones de las capas de la interfaz eso en este caso existe entre una película y las películas pueden ser necesarias y es necesario para poner a un modelo y para simular un cálculo. Por consiguiente un cálculo es complicado y la interpretación del resultado puede ponerse difícil.

Un dispositivo el número ejemplar: SE-2000 Japón el semi-laboratorio
Tiempo de la introducción: Febrero, 2016

Es 6,400 yen en un espesor cinematográfico, la medida del número fija óptica 1 muestra 1 punto de la medida

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